
| Gittersteigung | 20 µm |
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| Wärmeausdehnung | 10,6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Auflösung | 0,5-1-5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Wiederholbarkeit | ±1 Schrittweite | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Höchstgeschwindigkeit m/min | 60 (5 μm); 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ausgabetyp | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maximale Beschleunigung | 20 m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Schutz | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Stromversorgung | 60 mA Max. | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Phasenverschiebung | 90°±5° elektrisch | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Betriebstemperatur | 0°–50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Lagertemperatur | -20° bis 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Luftfeuchtigkeit | 100 % nicht kondensiert |